别再在智能工厂中使用传统的加热装置了 如果您打算打造一个现代化的数字化工厂，那么就不得不重新思考如何处理加热问题。那些老式的电阻式加热元件效率实在太低了。当生产线以毫秒级速度运转时，绝对不能等待加热元件慢慢升温。 这时，碳纤维红外灯就派上用场了。 其优势源于物理学原理。 与金属线圈不同，碳纤维灯丝...

在制造过程中，烘烤步骤决定了控制线宽所必需的热平衡。如果软烘或硬烘的温度出现2°C的波动，就会导致CD值发生偏移，进而引发不良效应。我们设计了碳纳米管加热器，以此来消除这种波动。 从技术层面来看，重要的是什么？ 整个晶圆上的温度均匀性应保持在±0.1°C以内，而设定点的重复性则应在±0.2°C范围...