用于光刻机的石英玻璃防护罩
利用石英防护罩让您的照明灯发挥更高效率
如果您在运营半导体制造工厂,那么您一定知道,红外线加热灯在晶圆烘烤和固化过程中起着至关重要的作用。不过,如果我们要实现碳中和的目标,就必须停止忽视能源的流失问题。
这时,石英玻璃防护罩就派上用场了。大多数人认为它只是个简单的保护层而已。但实际上,它更像是一个...
石英卤素红外发射器
在光刻工艺中,如果“Soft Bake”阶段的温度控制出现半度的偏差,就足以导致关键尺寸控制失灵。此时,光刻胶中的溶剂去除效果会变得不稳定,而“Hard Bake”阶段则会让这种误差固定下来。对于晶圆来说,温度均匀性并非额外的优势,而是工艺流程中不可或缺的条件。
从技术角度而言,重要的是什么? 石...
中波石英加热管
在芯片制造过程中,大家都知道:如果烘烤温度出现半度左右的偏差,就足以导致芯片关键尺寸的均匀性出现问题,进而影响良率。而中波石英加热管则能够防止这种偏差的产生。
真正重要的是对晶圆本身的精确控制。中波红外线可以几乎不受表面效应的影响而穿透光阻层,同时,由于石英管的熱质量较小,它能够快速且均匀地传递热...