光刻胶烘烤灯

在光刻工序中，所谓“软烘烤”和“硬烘烤”，其实并不仅仅是简单的“加热步骤”。它们实际上决定了图案的精确度，也决定了是否需要重新加工。光阻材料对温度非常敏感，任何微小的温度变化都可能带来严重后果。哪怕温度偏差只有一两度，或者晶圆上出现局部过热现象，都会导致CD精度下降。 从技术角度来说，什么才是关键...