MEMS传感器晶圆干燥加热器

如何让MEMS芯片在干燥过程中不受损害 让MEMS传感器芯片干燥其实是一项相当棘手的任务。需要尽快让芯片上的水分蒸发，但如果不小心的话，就可能会出现水渍，甚至更糟糕的是，机械应力会破坏整个芯片的结构。 因此，我们使用专为这一目的而设计的红外线加热器。这类加热器可以直接对芯片表面进行加热，从而在表面...