双管镀金灯管
将更多的热量集中在需要的地方:镀金双管灯
在芯片制造过程中,我们实际上是在与能量浪费作斗争。我们需要让硅表面保持精确的温度,但通常情况下,热量会四处散失。
普通石英灯就是造成这一问题的罪魁祸首——它们会将热量向各个方向散发。这就导致了效率低下。因此,我们采用了镀金双管灯。这样一来,热量就不会再四处...
中波石英加热管
在芯片制造过程中,大家都知道:如果烘烤温度出现半度左右的偏差,就足以导致芯片关键尺寸的均匀性出现问题,进而影响良率。而中波石英加热管则能够防止这种偏差的产生。
真正重要的是对晶圆本身的精确控制。中波红外线可以几乎不受表面效应的影响而穿透光阻层,同时,由于石英管的熱质量较小,它能够快速且均匀地传递热...