碳纳米管制造用加热器

在制造过程中，烘烤步骤决定了控制线宽所必需的热平衡。如果软烘或硬烘的温度出现2°C的波动，就会导致CD值发生偏移，进而引发不良效应。我们设计了碳纳米管加热器，以此来消除这种波动。 从技术层面来看，重要的是什么？ 整个晶圆上的温度均匀性应保持在±0.1°C以内，而设定点的重复性则应在±0.2°C范围...