快速响应型红外加热灯管

在芯片制造过程中，软烘烤或晶圆干燥环节中的温度波动不仅会成为生产的瓶颈，还会导致关键尺寸发生变化，同时还会留下残留物，这些残留物最终会导致产品合格率下降。我们设计了响应速度极快的红外加热器，从而从源头上消除这种温度波动问题。 从技术角度来说，重要的是什么？ 我们使用装在石英外壳中的短波红外卤素元件...