真空烘箱加热元件制造

在生产车间，光刻胶烘烤不仅仅是一个加热步骤——它是尺寸控制。软烘烤和硬烘烤温度即使有微小的漂移也会影响关键尺寸、反射率，并在整个批次中影响良率。真空烘箱使情况更加复杂：你是在低压环境中传递热量，无法避免热斑或冷区的影响。 底层的重要性 我们设计真空烘箱加热元件时考虑了晶圆级热均匀性，目标是在一切稳...