쿼츠 실드를 활용해 램프의 성능을 더욱 향상시키는 방법 반도체 제조 공장을 운영하고 있다면, IR 가열 램프가 웨이퍼를 가열하고 경화하는 데 있어 핵심적인 역할을 한다는 것을 잘 알고 있을 것입니다. 하지만 탄소 중립 목표를 달성하기 위해서는 에너지가 어디로 낭비되고...

리소그래피 공정에서는, 소프트 베이크 과정에서의 약 반도의 온도 변화만으로도 치명적인 오류가 발생할 수 있습니다. 포토레지스트 내의 용매 제거 과정도 일관성을 잃게 되고, 그 결과 하드 베이크 과정에서 그러한 오류가 고착됩니다. 웨이퍼 전체의 온도 균일성은 단순한 장...

생산 현장에서는 이런 원칙이 적용됩니다. 소성 온도가 반도그레이드만큼 변해도 치명적인 문제가 생길 수 있습니다. 중파 석영 히터는 그러한 오차가 발생하기 전에 미리 그것을 막아줍니다. 실제로 중요한 것은 웨이퍼 자체를 정확하게 제어하는 것입니다. 중파 적외선은 피사체...