웨이퍼 번인 테스트 가열 램프

번인 라인에서 온도 안정성은 선택사항이 아니라 반드시 지켜야 하는 조건이다. 몇 도의 편차만으로도 파라메트릭 수율이 크게 저하되며, 포토레지스트 베이크 불균일성은 리소그래피 예산을 크게 소모시켜 정상 웨이퍼를 폐기물로 만든다. 당사는 웨이퍼 번인 히팅 램프를 교대 근...