스마트 팩토리에서는 더 이상 구식 가열 장치를 사용하지 마세요. 현대적이고 디지털화된 팩토리를 구축하려면, 열을 처리하는 방식을 다시 생각해볼 필요가 있습니다. 그 오래된 저항식 가열 요소들은 너무 느립니다. 생산 라인이 밀리초 단위로 작동하는 상황에서는, 코일이 따...

팹 내에서는 베이킹 과정을 통해 라인폭 제어를 위한 열 관리가 이루어집니다. 소프트 베이크나 하드 베이크 시 온도가 2°C만 변동해도 CD 편차가 생기고, 그로 인해 문제가 발생할 수 있습니다. 이러한 변동성을 줄이기 위해 우리는 탄소나노튜브를 활용한 가열 장치를 개...