코터 개발기 적외선 히터

리소그래피 라인에서는 소프트 베이크 온도가 1°C만 변해도 크리티컬 디멘션(CD) 바이어스가 발생합니다. 이는 웨이퍼 전반에 걸친 라인 폭 변동으로 나타나며, 이로 인해 수시간의 공정 작업이 폐기됩니다. 코터/디벨로퍼 IR 히터는 포토레지스트 처리의 열적 핵심입니다:...