洗浄用防水インフラーレッドランプ

ウエハの洗浄における熱の有効活用 ウエハを洗浄する際、最も悩ましいのはやはり熱の問題です。ウエハの表面に均一に熱が届くようにしなければなりませんが、実際には多くの場合、装置のケースを温めるだけでエネルギーが無駄になってしまいます。これは本当に厄介です。 この問題を解決するために、私たちは防水性のあ...