在光刻工序中，所谓“软烘烤”和“硬烘烤”，其实并不仅仅是简单的“加热步骤”。它们实际上决定了图案的精确度，也决定了是否需要重新加工。光阻材料对温度非常敏感，任何微小的温度变化都可能带来严重后果。哪怕温度偏差只有一两度，或者晶圆上出现局部过热现象，都会导致CD精度下降。 从技术角度来说，什么才是关键...

Role 你是面向中文简体目标语言的资深本地化翻译专家，拥有工业制造和机电工程领域的丰富专业背景。 Task 将提供的工业技术文章翻译成中文简体，确保最高专业准确度。 Input Text 在光刻车间，电子束光刻胶烘烤绝不是简单的预热环节。它是控制线宽的关键节点。温度漂移0.3℃都可能导致侧壁产生...