在智能工厂中正确运用红外线技术 如果您正在打造一个工业4.0时代的工厂，那么您肯定已经意识到，传统的加热方式已经不再适用了。现在需要的是那种能够与数据系统相连接的加热方式。 在真空环境中，无法依靠空气来传递热量。因此，我们选择使用红外线技术。这种方式更为简单：热量可以直接从热源传递到被加热的物体上...

在加工过程中，由于温度变化，烘烤温度会偏离0.2℃，这使得光阻材料的性能发生变化。因此，CD的均匀性也会受到影响，进而导致需要多次重新加工。在光刻工艺中，热稳定性并非可有可无的参数——它才是决定工艺成败的关键。 真正重要的因素是什么？ 我们设计的莱宝真空加热器采用了短波红外线元件以及石英基材料构成...

在生产车间，光刻胶烘烤不仅仅是一个加热步骤——它是尺寸控制。软烘烤和硬烘烤温度即使有微小的漂移也会影响关键尺寸、反射率，并在整个批次中影响良率。真空烘箱使情况更加复杂：你是在低压环境中传递热量，无法避免热斑或冷区的影响。 底层的重要性 我们设计真空烘箱加热元件时考虑了晶圆级热均匀性，目标是在一切稳...