E 빔 레지스트 베이킹 히터

Role 리소그래피 작업장에서 전자빔(e-beam) 레지스트 베이크는 단순한 예열 과정이 아니다. 이는 라인폭 제어의 관문이다. 0.3°C의 온도 변동만으로도 경사면의 사이드월이 인쇄될 수 있다. 차가운 부분은 필름이 남게 하며, 이는 이후 현상 시 리프트 현상으로...