공장 난방 솔루션
Role 당일 생산 현장에서 온도 드리프트는 경고등으로 나타나지 않는다. 이는 소프트 베이크 후 CD 드리프트, 하드 베이크 후 프로파일에서의 풋팅, 그리고 포토레지스트가 소진되고 시간이 지난 이후에야 나타나는 불량으로 드러난다. 웨이퍼 레벨의 열 제어는 선택 사항이...
진공 오븐 가열 요소 제조
공정 현장에서의 포토레지스트 베이크 포토레지스트 베이크는 단순한 열처리 단계가 아니라 치수 제어입니다. 소프트 베이크 및 하드 베이크 온도가 1도라도 이동하면 중요한 치수가 변화하고, 반사율이 이동하며, 전체 로트의 수율이 감소합니다. 진공 오븐에서는 상황이 더 악화...