왜 반도체 건조에 적외선을 사용하는가? 업계는 ‘친환경적이고 수은이 없는’ 기술을 채택하려고 노력하고 있습니다. 이는 좋은 일이지만, 웨이퍼를 건조하는 방식에 큰 압박을 가합니다. 오랫동안 우리는 대류식 오븐을 사용해왔습니다. 문제는, 이러한 오븐들이 엄청난 양의 공...

파편의 발생을 막아서: IR 램프 고장으로부터 웨이퍼를 보호하기 솔직히 말해서, 생산 중에 IR 램프가 폭발하는 것은 정말 끔찍한 상황입니다. 그로 인한 비용뿐만 아니라, 유리 조각들이 웨이퍼 전체에 흩어질 수 있다는 사실도 큰 문제입니다. 고부하 생산을 할 때는 석...

스마트 팩토리에서의 적절한 열 제어 산업 4.0을 위한 스마트 팩토리를 구축한다면, 이제는 기존의 열 처리 방식으로는 충분하지 않다는 것을 알고 있을 것입니다. 일반적인 저항식 히터들은 반응 속도가 매우 느리며, 가열하는 데 오랜 시간이 걸리고, 식는 데도 마찬가지로...