화학 처리 구역에서 사용되는 적외선 조명에 대해 더 이상 걱정할 필요가 없습니다. 만약 화학물질 처리 공정에서 적외선 가열등을 사용한다면, 그 위험성을 잘 알고 있을 것입니다. 주변에는 인화성 증기가 있으며, 부식성 물질들도 존재하기 때문에 모든 것이 손상될 수 있습...

리소그래피 공정에서는, 소프트 베이크 과정에서의 약 반도의 온도 변화만으로도 치명적인 오류가 발생할 수 있습니다. 포토레지스트 내의 용매 제거 과정도 일관성을 잃게 되고, 그 결과 하드 베이크 과정에서 그러한 오류가 고착됩니다. 웨이퍼 전체의 온도 균일성은 단순한 장...