웨이퍼 가열을 위한 안전 거리

적외선 가열 vs. 열공기 가열: 웨이퍼 처리에 낭비되는 시간을 줄이세요 열공기가 어떻게 작동하는지 생각해보세요. 먼저 공기를 가열한 다음, 그 공기가 웨이퍼를 가열합니다. 이는 매우 느린 과정입니다. 기다리는 시간도 길어집니다. 반도체 제조 과정에서는 이러한 지연...