IR 램프가 폭발성 화학물질과 접촉할 때 안전을 유지하는 방법
반도체를 청소할 때는 마치 불을 다루는 것과 같습니다. 그러한 용매들은 발화성이 있으며, 경우에 따라서는 직접적으로 폭발할 수도 있습니다. 일반적인 적외선 램프를 그런 환경에 사용한다면, 재앙을 초래할 수밖에 없습니다.
그래서 우리는 금으로 코팅된 단파 적외선 램프를 사용합니다. 이 램프들은 바로 이런 위험한 환경에서도 웨이퍼를 가열할 수 있도록 특별히 설계된 것입니다.
왜 금을 사용할까요?
그건 단순히 멋있어 보이기 위해서가 아닙니다. 석영관 표면에 얇은 금층을 입혀서 거울처럼 작용하게 하는 것입니다. 이를 통해 적외선 에너지가 웨이퍼 쪽으로만 전달되고, 뒤쪽으로 빠져나가는 것을 막을 수 있습니다. 그 결과, 목표 온도에 도달하는 속도가 훨씬 빨라집니다. 하지만 단점도 있습니다. 램프가 너무 많은 에너지를 방출하기 때문에 과열될 수 있습니다. 그래서 고순도 석영을 사용하여 램프가 켜진 순간에 곧바로 파손되는 것을 방지합니다.
“폭발” 문제를 해결하기 위한 방법
실제로 가장 큰 문제는 공기입니다. 화학물질의 증기는 매우 위험합니다. 뜨거운 표면에 닿거나 전기 스파크가 생기면 문제가 발생합니다. 이를 막기 위해 램프를 특수한 석영이나 사파이어 유리로 감싸줍니다. 그렇게 함으로써 위험한 기체가 밖으로 나가지 않고 불활성 기체만이 들어갈 수 있습니다. 또한, 고온에 견딜 수 있는 내구성이 강한 가스켓과 커넥터도 사용됩니다. 만약 밀폐가 실패한다면, 그 램프는 마치 퓨즈처럼 작동할 것입니다. 그래서 우리는 실제로 사용되는 화학물질에 맞게 램프의 구조를 조정합니다.
장단점
물론, 이런 램프들은 그냥 꽂아서 사용할 수 있는 것이 아닙니다. 유리로 둘러싸여 있기 때문에 일반적인 램프보다 크고 무겁습니다. 그냥 기존의 랙에 넣고 사용할 수는 없습니다. 마운팅 브라켓을 조정해야 합니다. 또한, 냉각도 중요합니다. 팬이 충분히 공기를 순환시키지 못하면, 램프 외부에 열이 쌓여서 수명이 줄어듭니다. 조금 더 계획을 세워야 하지만, 그래도 다른 방법보다는 훨씬 낫습니다.