
利用石英防护罩让您的照明灯发挥更高效率
如果您在运营半导体制造工厂,那么您一定知道,红外线加热灯在晶圆烘烤和固化过程中起着至关重要的作用。不过,如果我们要实现碳中和的目标,就必须停止忽视能源的流失问题。
这时,石英玻璃防护罩就派上用场了。大多数人认为它只是个简单的保护层而已。但实际上,它更像是一个“热量控制器”——它能够决定有多少能量真正作用于晶圆上,又有多少能量被浪费掉了。
关于材料规格的选择
我们选择高纯度的熔融石英作为防护罩的材料,原因很简单:它能让短波红外线顺利穿过,而不会吸收这些能量。便宜的玻璃则不然——它会吸收能量,从而自身变热,进而抢走本应作用于晶圆的那些热量。为弥补这一损失,不得不增加灯具的功率,这无疑是一种浪费。而使用高透光率的防护罩的话,就能降低能耗。
防止灯具过热
虽然制造工厂里很干净,但空气中的化学蒸汽却具有很强的腐蚀性。石英防护罩可以承受这些腐蚀性物质,从而保护灯具免受损坏。没有防护罩的话,灯具的玻璃表面就会积累杂质,导致局部过热。一旦出现这种情况,灯具的玻璃就会因为应力而破裂,导致灯丝过早损坏。
减少灯具更换次数,就能减少废品,同时也能减少需要处理的垃圾量。这样当然会让工作更加轻松。
需要注意的问题:延迟效应与气流问题
不过,这也并非完美无缺。安装防护罩后会形成一定的物理间隙,这就意味着在升温过程中会出现一定的延迟。您可能需要调整PID控制器来应对这种延迟。另外,这个间隙还可能阻碍热气的散逸。如果冷却风扇无法有效散热,那么设备就有可能过热。但只要控制好气流,就能让设备保持较低的温度,从而大幅降低能耗。