
在制造过程中准确控制热量
如果有过处理晶圆固化过程的经验,那么你一定知道基材变形这个麻烦问题。这种情况通常是由于热量分布不均所导致的。在现代化的、以数据为驱动的制造环境中,我们不能再简单地增加热量输出,然后寄希望于一切顺利。
其实,关键在于反射器。这个小小的部件决定了能量是真正作用在晶圆上,还是白白浪费掉,只会让机器的框架过热而已。
别再浪费能量了 想象一下没有反射器的固化灯——它会把能量向各个方向散发,360度都是浪费。我们使用抛物线形或椭圆形的反射器来捕捉那些向后散发的光子,然后把它们重新引导回正确的位置。
通过使用高纯度的铝或金涂层,我们可以在不提高灯光功率的情况下,将更多热量传递到晶圆表面。这样既达到了所需的热量效果,又降低了能耗。
“智能工厂”带来的挑战 虽然数字化生产听起来很棒,但实际上它让物理层面的设置变得更加复杂。反射器的形状必须与传感器的位置完美匹配。
哪怕偏差几毫米,就会产生热点,而这些热点会破坏数据记录,导致产品一致性下降。这真是令人沮丧。因此,我们设计出这种反射器,使其能够精确地将能量集中在需要的地方。
权衡利弊 不过,也有个问题:更高的反射率意味着更高的热量密度。虽然这能加快固化速度,但也会给灯具的石英外壳带来更大的压力。你必须确保冷却系统能够正常工作。如果气流不足,灯具就会很快损坏。
我们注重的是反射率以及焦点位置的精确控制。只要确保电源能够承受初始的红外辐射,那就没问题了。