晶圆加工设备的温度传感器

为什么我们在晶圆加工设备中用红外线替代热风加热 如果你希望加快半导体的深度加工速度，那就必须找出导致时间浪费的环节。对于我们大多数人来说，那个瓶颈就是加热过程。 大多数传统的加热方式都是使用热风。这种方式的效率很低：首先需要加热空气，然后空气再去加热晶圆。这就好比用暖风机来给房间供暖——需要很长时...