当红外灯与易爆化学物质接触时，如何确保安全？
在清洁半导体元件时，其实就是在玩火——真的是如此。那些溶剂具有易燃性，有些甚至具有爆炸性。如果将普通的红外灯放入其中，那无疑会导致灾难性的后果。
因此，我们使用镀金结构的短波红外灯。这种灯泡是专门为处理这类高风险场景而设计的，这样就可以在不担心整个装置爆炸的情况下加热晶圆。
为什么要用黄金涂层呢？
这并非为了美观。我们在石英管表面涂上一层薄薄的黄金，使其起到镜子的作用。这样才能让红外能量更有效地照射到晶圆上，同时防止能量从背面泄漏出去。这样一来，就能更快地达到所需的温度。不过，由于灯光产生的能量很大，因此灯泡会变得非常热。我们使用高纯度的石英材料，这样灯泡就不会在开启后马上烧毁。
如何应对爆炸风险？
真正的问题在于空气。化学蒸汽极其危险，一旦它们接触到高温表面或电路中的微小电火花，就有可能引发爆炸。为避免这种情况，我们将灯泡包裹在特殊的石英或蓝宝石玻璃中，确保其密封性，从而防止危险气体进入，同时让惰性气体留在内部。此外，我们还使用耐热的密封件和连接器。如果密封失效，那么这个灯泡就会变成“保险丝”，从而起到保护作用。因此，我们需要根据实际使用的化学物质来设计合适的灯泡外壳。
权衡利弊
显然，这些灯泡并不是可以直接使用的。因为它们被封装在玻璃中，所以比普通灯泡更庞大、更沉重。你不能直接把它们装进现有的支架里，期望一切正常运行。你可能需要调整支架的结构。另外，还要注意散热问题。如果风扇无法充分排出热量，那么外壳内的温度就会上升，进而缩短灯泡的寿命。虽然需要更多的规划，但这样总比其他方法要好得多。