RTP系统用卤素灯

在光刻工厂里，光阻烘烤过程中，晶圆表面的温度可能会发生0.2°C的波动。这样的微小变化就会影响光刻工艺的精度和成品率。在RTP系统中，那盏灯不仅仅是一个热源，它还决定了整个系统的温度均匀性和重复性。 我们为RTP系统设计的卤素灯具有出色的光谱控制能力和快速响应速度。其灯丝结构、石英外壳以及反射器设...