スマートファブで適切な加熱を実現するには
もし Industrie 4.0向けのスマートファブを構築するなら、まず最初にやるべきことは、従来型の加熱方法に頼るのをやめることです。それではもう十分ではありません。ウェーハの処理や化学気相成長といった作業には、UHP（超高純度）ヒーターランプが必要です。私たちは、リアルタイムで温度を管理できるデジタル制御システムに簡単に組み込めるようなヒーターランプを製造しています。もう推測に頼る必要はありません。
小さな空間に大きなパワーを詰め込む
私たちのUHPランプの特徴は、極めて小さなサイズの中に大量のワット数を詰め込める点です。300mmのチューブを使う場合、その熱を集中させる必要があります。そうしないと、ウェーハ全体に均一な温度が得られず、結果として品質が悪くなります。私たちは高電圧を利用して、ランプのサイズを大きくすることなく、より多くのパワーをフィラメントに供給します。これにより、機械の占有面積を抑えることができます。
ただし、2000W以上のパワーを狭い空間に込めると、冷却システムに大きな負担がかかります。空気の流れが適切でなければ、周囲のセンサーが破壊されてしまいます。
清潔さと接続性を保つ
この業界では、汚染が最大の敵です。わずかな汚れでも、生産効率が低下してしまいます。そのため、私たちは高純度の石英や特殊なコーティングを使用しています。これにより、加熱時のガス放出を防ぎ、環境を清潔に保つことができます。また、これらのランプは単なる「プラグアンドプレイ」のハードウェアではありません。正確なPIDコントローラーと組み合わせることで、MES上で各種の加熱・冷却サイクルを追跡できます。これにより、熱履歴を実際のデータとして把握できます。さらに、ランプが劣化し始めるのを、生産ライン全体が台無しになる前に検出できます。これは、工場を管理する人々にとって大きな安心材料です。
現場での利用
これらのランプをスマートファクトリーに接続するのは実際には非常に簡単です。標準化されたコネクタを使用することで、機械の振動があっても、すべてがしっかりと固定されます。最も良い点は、速さです。赤外線による加熱はほぼ即座に行われます。これにより、処理時間が短縮され、エネルギーの無駄遣いも防げます。つまり、生産ラインをより効率的に運営できるのです。