熱の無駄遣いを止めよう：なぜ半導体製造装置にはアルミニウム製の反射器が必要なのか IRランプの問題点は、熱があらゆる方向に放出されることです。360度全方向にエネルギーが散逸してしまいます。しかし、半導体製造装置では、ウェーハに届く熱だけが重要です。 反射器がなければ、エネルギーの半分が無駄になっ...

化学処理エリアでのIRランプの心配はやめましょう。 もし化学洗浄ラインで赤外線加熱ランプを使用しているのであれば、その危険性はよくご存知でしょう。周囲には可燃性の蒸気が漂っており、また、ほぼすべての物質を腐食させるような腐食性物質も存在します。 このような環境では、通常の電線接続は単なるリスクでは...

ウェーハ加工用の高精度赤外線ランプ 想像してみてください。ウェーハの生産が順調に進んでいるところで、突然ランプが壊れてしまうのです。これは単なる停止にとどまらず、大混乱を招きます。汚染があちこちに広がり、工場全体の稼働が停止する危険性もあります。 私たちは、このような最悪の事態を未然に防ぐために、...

はじめに さっそく本題に入りましょう。私たちは単なるガレージ用ヒーターを作っているわけではありません。私たちが製造しているのは、壁に取り付けられる赤外線ヒーターであり、直接放射型のシステムです。つまり、空気を温めるだけでなく、必要な場所に的確に熱を届けるのです。 この方式には大きな利点があります。...