IRランプが爆発性の化学物質に触れたときの安全対策
半導体を洗浄する際、実際には火を扱っているようなものです。それらの溶剤は可燃性があり、場合によっては爆発的な性質を持っています。通常のIRランプをその環境に使えば、災害を招くことになります。
だからこそ、私たちは金メッキされた短波長IRランプを使用します。これらは、このような危険な環境でウェーハを加熱できるように特別に設計されています。そうすれば、周囲が爆発する心配もありません。
なぜ金を使うのか？
見た目が良くなるからではありません。石英管の表面に薄い金の層を塗ることで、鏡のように機能し、赤外線エネルギーをウェーハに向けて反射させ、背後に漏れ出るのを防ぎます。これにより、目的の温度に到達するまでの時間が大幅に短縮されます。しかし、問題点もあります。ランプが大量のエネルギーを放出するため、高温になります。そのため、高純度の石英を使用して、電源を入れた瞬間にランプが壊れないようにしています。
「爆発」のリスクへの対処法
実際の問題は空気です。化学ガスは非常に厄介です。熱い表面に触れたり、端子部分で微小な火花が発生したりすると、問題が起こります。これを防ぐため、ランプを特殊な石英やサファイアガラスで覆います。これにより、危険なガスが外部に漏れ出ず、不活性ガスが内部に留まります。また、耐熱性の高いガスケットやコネクタも使用します。もし密封が失われると、そのランプは「ヒューズ」のように機能してしまいます。だからこそ、実際に使用している化学物質に合わせて、ハウジングを調整する必要があります。
トレードオフ
ただし、これらは「プラグイン式」の製品ではありません。ガラスで密封されているため、通常のランプよりも大きく重くなります。単純に既存のラックに取り付けるだけでは不十分です。取り付けブラケットを調整する必要があります。また、冷却も重要です。ファンが十分に空気を循環させないと、ハウジングの内部に熱が溜まり、ランプの寿命が短くなってしまいます。少し手間はかかりますが、他の方法に比べればはるかに良い方法です。