MEMSセンサーワイヤー用乾燥ヒーター

MEMSウェーハを安全に乾燥させる方法 MEMSセンサーのウェーハを乾燥させるのは、細心の注意が必要な作業です。洗浄液をすばやく除去する必要がありますが、注意しないと水滴が残ったり、さらに悪いことに、機械的なストレスが生じて、全てのウェーハが台無しになってしまいます。 そのため、私たちはこの目的に...