MEMSウェーハを安全に乾燥させる方法
MEMSセンサーのウェーハを乾燥させるのは、細心の注意が必要な作業です。洗浄液をすばやく除去する必要がありますが、注意しないと水滴が残ったり、さらに悪いことに、機械的なストレスが生じて、全てのウェーハが台無しになってしまいます。
そのため、私たちはこの目的に特化して設計された赤外線ヒーターを使用しています。空気を温めるだけでなく、ウェーハの表面を直接加熱します。そうすることで、表面張力によって繊細なMEMS構造が破壊される前に水分を除去できます。
高温の扱い方
私たちは、1インチあたりの出力を高く設定しています。なぜかというと、ウェーハが数秒以内に蒸発温度に達する必要があるからです。乾燥時間が長引けば、汚染物質が内部に入り込む危険があります。
しかし、高温は二面性があります。温度の上昇や下降の仕方に注意が必要です。急激に温度を変えると、センサー上の薄膜が割れてしまいます。重要なのは、温度の変化を徐々に行うことです。
石英と「廃棄物」の問題
安定性を保つために、フィラメントは高純度の石英の中に収められています。これにより、激しい温度変動にも対応でき、ウェーハが変形するのを防げます。
また、フィラメントにはコーティングが施されており、これによりエネルギーがウェーハに直接当たり、チャンバーの壁が温められるのを防ぎます。さらに、標準的な接続部品を使用しているため、メンテナンス時には簡単に交換して作業を再開できます。
ミスの余地はない
クリーンルームでは、わずかな電気アークでも大惨事につながります。一瞬で大量のウェーハが破壊されてしまいます。
そのため、私たちは推測せず、出荷する各ヒーターに対して100％の誘電耐圧試験と絶縁抵抗試験を実施しています。極限の電圧まで負荷をかけて、漏れ電流がないことを確認しています。現場での故障は許されません。
最後に、電源のインピーダンスがヒーターのインピーダンスに合っているかを確認してください。一致しない場合、性能が低下したり、フィラメントが早く劣化したりします。