ウェーハ加工用の高精度赤外線ランプ
想像してみてください。ウェーハの生産が順調に進んでいるところで、突然ランプが壊れてしまうのです。これは単なる停止にとどまらず、大混乱を招きます。汚染があちこちに広がり、工場全体の稼働が停止する危険性もあります。
私たちは、このような最悪の事態を未然に防ぐために、高精度な赤外線ランプを開発しました。私たちの目標は、強力で制御可能な熱を供給しつつ、ウェーハを常に清潔な状態に保つことです。
パワーとサイズ：厳しい条件に耐えられる設計
これらのランプは、ウェーハ加工における厳しい熱的条件に対応するように設計されています。工業用電源に合わせて、400Vの入力電圧を採用しています。その結果、配線への負荷が軽減され、長距離でも電圧降下が少なくなります。つまり、ランプがフル稼働していても、安定した出力が得られます。
また、300mmのチューブと2500Wの出力により、狭いスペースでも十分な熱量が得られます。これにより、加熱エリアを小さくしても、処理速度が低下することはありません。
安心できる安全性
内部には、クォーツ製の短波ハロゲン素子が使用されています。これにより、素早い起動と精密な温度制御が実現されます。これは、ウェーハの品質を守る上で非常に重要です。
さらに、クォーツ製の本体には耐衝撃コーティングが施されています。万が一圧力が上がっても、コーティングが破片を受け止めてくれます。そのため、破片がチャンバー内に飛び散ることはありません。安心して使用できます。
R7sコネクタは、高電流に対応し、振動に強い固定方式を採用しています。そのため、ホットスポットや早期の故障の心配はありません。
実際の性能——驚きはありません
工場では、この装置がランプの破損による汚染リスクに対する理想的な解決策となります。高い処理効率を実現できますが、それには冷却システムが十分である必要があります。冷却が不十分だと、高いワット数によって周囲の温度が上昇し、ランプの寿命が短くなってしまいます。
これは、高精度なウェーハ加熱に必要な熱的・安全的要求を満たすための、すぐに使用できる部品です。