别再浪费时间了：为何您的制造流程应选择红外线而非热风加热 如果您仍然依赖热风循环来进行深度加工，那无异于在与时间赛跑，而且几乎注定会失败。 想想热风加热的原理吧——您先加热空气，然后希望这些热空气能够加热晶圆。这个过程极其缓慢且效率低下。此外，还存在明显的延迟现象，这种热传递瓶颈会严重降低生产效率...

在工厂车间，温度漂移不会以警告灯的形式出现。它表现为软烘烤后的CD漂移、硬烘烤后的轮廓基脚，以及在批次已经消耗了光刻胶和时间后才显现出的废品。晶圆级的热控制不是可有可无的选择，而是过程预算的一部分。 技术上重要的事项 我们围绕NIR和中波红外模块构建了工厂加热系统，这些模块是为半导体热控制设计的。...