涂布机开发者红外加热器

在光刻车间，软烘烤温度漂移1°C会导致关键尺寸偏差。你会在晶圆上看到线宽变化——这就是废掉数小时工艺工作的原因。 涂布/显影机的红外加热器是光刻胶处理的热源核心：软烘烤、硬烘烤和干燥。如果热均匀性出现偏差，良率也会随之下降。 技术重点 我们采用短波红外光源构建加热器，响应快速，能穿透厚度加热，使温...