标签为“冲洗”的页面如下 用于冲洗的防水红外线灯 如何充分利用晶圆清洗过程中的热量 在清洗晶圆时,最棘手的问题往往就是热量控制。虽然需要让热量准确地作用于晶圆表面,但很多时候,能量却被浪费在加热机器的机身上了。这确实很令人沮丧。 为了解决这个问题,我们使用了防水型红外线灯,并配以镀金反射器。其目的很简单:防止能量流失,确保热量能够精准地传递到所需... Read more...
用于冲洗的防水红外线灯 如何充分利用晶圆清洗过程中的热量 在清洗晶圆时,最棘手的问题往往就是热量控制。虽然需要让热量准确地作用于晶圆表面,但很多时候,能量却被浪费在加热机器的机身上了。这确实很令人沮丧。 为了解决这个问题,我们使用了防水型红外线灯,并配以镀金反射器。其目的很简单:防止能量流失,确保热量能够精准地传递到所需... Read more...