如何让晶圆获得更多热量（同时避免过热？） 如果你曾经从事过生物传感器制造工作，那么你就知道这有多困难了。要使晶圆达到精确的温度，同时又防止整个装置过热，简直就是一场不可能完成的任务。 我们找到了解决办法。关键在于使用红外线灯，并配以镀金反射器。其实很简单：不必浪费能量，而是将所有热量精确地传递到需...

别让一个坏掉的灯毁掉整批产品 在生物传感器制造过程中，一点点小错误都可能带来灾难性后果。想象一下：当你正在高负荷运转时，红外灯管突然破裂了。那不仅仅是灯光熄灭而已——大量的石英碎片和卤素气体会溅落到工作台上。这样一来，整批晶圆就都报废了。这真是噩梦般的情景。正因如此，我们才会采用特殊的工艺来制造红...

在生物传感器制造过程中，如何控制温度是个棘手的问题。虽然需要热量来让聚合物固化，同时也要让生物试剂活跃起来，但一旦温度过高，一切都会被毁掉。那些敏感的基材根本无法承受如此高的温度。 因此，我们不再使用那种传统的对流式烤箱了。因为它们效率低下且操作不便。取而代之的是红外加热系统。红外加热的优点在于可...

为何还要继续等待烤箱加热呢？红外技术与热风技术在氢传感器中的应用 如果你正在制造氢传感器，那么你一定知道其中的问题所在：需要激活催化剂层，同时还需要稳定薄膜结构，而这一切都取决于如何控制温度。 很多工厂仍然在使用那种大型热风循环烤箱。说实话，这其实是一种效率低下的方法。因为依靠强制对流来加热，实际...

在制造过程中，烘烤步骤决定了控制线宽所必需的热平衡。如果软烘或硬烘的温度出现2°C的波动，就会导致CD值发生偏移，进而引发不良效应。我们设计了碳纳米管加热器，以此来消除这种波动。 从技术层面来看，重要的是什么？ 整个晶圆上的温度均匀性应保持在±0.1°C以内，而设定点的重复性则应在±0.2°C范围...