스마트 팩토리에서 적외선 기술을 효과적으로 활용하는 방법
만약 인더스트리 4.0을 구축하고 있다면, 이제는 기존의 가열 방식으로는 충분하지 않다는 것을 알고 있을 것입니다. 데이터와 연동할 수 있는 방법이 필요합니다.
진공 상태에서는 공기를 이용해 열을 전달할 수 없습니다. 그래서 우리는 적외선 기술을 사용합니다. 이 방식은 훨씬 간단합니다. 열이 직접 소스에서 기판으로 전달되기 때문입니다. 중간 단계가 없죠.
속도와 지능성
기존의 저항식 히터는 반응이 느립니다. 하지만 적외선 기술은 거의 즉각적인 반응을 보입니다. 디지털 제어 시스템과 연동시키면 온도를 실시간으로 조절할 수 있습니다. 이는 공정 처리 방식에 있어서 큰 변화를 가져옵니다. 우리는 높은 와트당 밀도를 가진 램프를 사용하는데, 이를 통해 필요한 높은 온도를 유지하면서도 공간을 절약할 수 있습니다.
단, 장비를 선택할 때는 히터가 PLC 기반의 PID 컨트롤러와 잘 호환되는지 확인해야 합니다. 그렇지 않으면 온도가 과도하게 상승하여 웨이퍼들이 파괴될 수 있습니다. 아무도 그런 상황을 원하지 않죠.
진공 상태에서의 문제
문제는 진공 상태에서는 램프를 식힐 공기가 없다는 것입니다. 주의하지 않으면 석영관이 내부에서부터 손상될 수 있습니다. 이를 방지하기 위해 우리는 램프의 발열 특성과 진공 챔버의 열 반사 방식에 많은 신경을 씁니다. 만약 작은 공간에 너무 많은 에너지를投入한다면, 램프는 예상보다 훨씬 빨리 손상될 것입니다.
데이터를 실제로 유용하게 활용하기
디지털화는 멋지게 들리지만, 우리에게는 단순히 예측 가능성을 의미합니다. 적외선 기술의 장점은 선형적이라는 점입니다. 일정한 양의 에너지를 입력하면 그에 상응하는 양의 열이 발생합니다. 이를 통해 서로 다른 구역의 온도 분포를 파악할 수 있으며, 각 배치별로 얼마나 많은 에너지가 사용되는지 정확히 알 수 있습니다.
하지만 단점도 있습니다. 고출력 적외선 배열은 많은 전류를 소비합니다. 스위치를 켰을 때 발생하는 초기 전류를 처리할 수 있는 전력 분배 장치가 필요합니다. 그렇지 않으면 오전 내내 차단된 회로를 재설정하는 데 시간을 보내야 할 것입니다.