シャードの発生を防ぐ：IRランプの故障からウェーハを守る
正直に言って、製造工程の最中にIRランプが破損するのは恐ろしいことです。単に部品の交換コストだけの問題ではありません。ガラスの破片がウェーハ全体に飛び散ってしまう可能性があるため、大変なパニックに陥ります。
高負荷の生産を行う際、クォーツ製の容器は熱によって大きなダメージを受けます。私たちは、そのような状況にも耐えられるIRランプを開発しています。そうすれば、常に心配しなくて済みます。
破片の発生を防ぐ
私たちは、熱膨張にも耐えられる高純度の合成クォーツを使用しています。しかし、単にガラス自体に頼るだけではありません。物理的な保護装置も加えています。これはまるで保険のようなものです。もしランプが割れたり壊れたりした場合でも、破片は保護装置の後ろに留まります。そうすれば、何日もかけて清掃しなければならないような状況にはなりません。これは大きな安心材料です。
熱の管理
迅速に乾燥させるためには高ワット数が必要ですが、それによって過熱が起こりやすくなります。これを解決するために、フィラメントが正確に中心に配置されていることを確認しています。これにより、クォーツが端っこで過熱するのを防ぎます。
ちょっとしたヒント：電源の電圧をランプの定格電圧に正確に合わせてください。少し多くの電圧をかけてより多くの熱を得ようとするのは魅力的ですが、やめておきましょう。そうするとランプの寿命が短くなり、破損の原因になります。
トレードオフ
ただし、この安全装置を追加すると、熱源とウェーハの間に薄い層ができてしまい、IR光の透過率が少し低下します。サイクルタイムを維持するためには、距離を調整したり、わずかに電力を上げる必要があります。これは小さい代償です。効率は少し下がりますが、ウェーハの品質が保証され、稼働時間が長く続くというメリットがあります。
最後に
必ずリアルタイムで電流を監視してください。もし1つのランプが壊れた場合、システムはすぐに停止すべきです。そうでなければ、残ったランプが過負荷になり、連鎖反応が起こって全てのランプが壊れてしまいます。火曜日にこんなことになるのは良くありません。