Trong quá trình nung phim khoáng trên bàn sản xuất, sự chênh lệch nhiệt độ 0,5°C trên bề mặt bếp nung có thể gây ra những hậu quả nghiêm trọng, làm mất kiểm soát độ dày của lớp phim khoáng và khiến sản phẩm bị hỏng. Do đó, cần phải có hệ thống đo nhiệt độ chính xác, sao cho nhiệt độ được kiểm soát theo mức đã 설정—không phải dựa vào các điểm nóng do bếp nung tạo ra.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật
Chúng tôi chế tạo các cặp nhiệt điện tử dành cho các bếp nung trong ngành bán dẫn, nhằm duy trì độ đồng đều về nhiệt độ ở mức ±0,1°C, đồng thời đảm bảo tính lặp lại của nhiệt độ giữa các lô sản xuất khác nhau. Điểm đo nhiệt độ nằm ngay tại vị trí mà wafer tiếp xúc với nhiệt độ, chứ không phải tại vị trí có nhiệt độ cao nhất do bếp nung tạo ra.
Hệ thống này được thiết kế để hoạt động trong các phòng sạch cấp độ 1–100; nó không tạo ra các hạt bụi, và có thể chịu được các chu kỳ nhiệt độ lặp đi lặp lại. Đầu ra của hệ thống luôn ổn định trong suốt 24/7, giúp tránh được các sự cố không mong muốn và giúp lên kế hoạch bảo trì một cách chính xác.
Tại sao phương pháp này hiệu quả trong công nghệ in ảnh
Trong quá trình in ảnh, mô-đun nung phim cần phải đạt được mức nhiệt độ chính xác trong phạm vi cho phép. Các cặp nhiệt điện tử của chúng tôi giúp duy trì mức nhiệt độ chính xác, từ đó giảm sự biến đổi về độ dày của lớp phim khoáng, cải thiện chất lượng phim khoáng và giảm lượng sản phẩm bị hỏng.
Việc kiểm soát nhiệt độ chính xác còn giúp rút ngắn thời gian kiểm tra chất lượng sản phẩm và giảm mức tiêu thụ năng lượng. Kết quả là tỷ lệ sản phẩm thành phẩm cao hơn, ít phải tái sản xuất hơn, và thời gian hoạt động của thiết bị cũng được đảm bảo.
Những yếu tố cần được đảm bảo
Độ chính xác trong việc lắp đặt rất quan trọng: đầu dò cần được đặt ở độ sâu đã được chỉ định và phải align với mặt phẳng của wafer. Nếu không đúng vị trí hoặc tiếp xúc nhiệt kém, độ đồng đều về nhiệt độ sẽ bị ảnh hưởng, dẫn đến sự sai lệch nhiệt độ.
Hệ thống này có thể hoạt động với hầu hết các loại bếp nung, nhưng đôi khi cần phải sử dụng các phụ kiện tùy chỉnh. Vui lòng chỉ ra mô hình bếp nung và dải nhiệt độ cần sử dụng, để chúng tôi có thể chọn vật liệu bọc, vật liệu cách nhiệt và đường cong hiệu chuẩn phù hợp với nhu cầu của bạn.