Trong quy trình sản xuất, sự thay đổi nhiệt độ trong quá trình sấy khô wafer không chỉ gây cản trở công việc mà còn khiến các kích thước quan trọng của wafer bị thay đổi, từ đó dẫn đến tỷ lệ sản phẩm lỗi cao. Chúng tôi đã chế tạo những bóng đèn sưởi bằng tia hồng ngoại có khả năng phản ứng nhanh để ngăn chặn hiện tượng này ngay từ đầu.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật Chúng tôi sử dụng các nguyên tố hồng ngoại bước sóng ngắn được đặt trong vỏ thạch anh, giúp tạo ra mật độ bức xạ cao với thời gian phản ứng chỉ trong vài phần giây. Nhiệt độ trên bề mặt wafer được duy trì ở mức ±0,1°C, và độ chính xác của nhiệt độ sau quá trình sưởi vẫn ở mức ±0,5°C. Công suất đầu ra ổn định từ lúc bắt đầu hoạt động cho đến khi đạt trạng thái ổn định – không có hiện tượng nhiệt độ không đồng đều gây ảnh hưởng đến quá trình xử lý wafer. Những bóng đèn này được thiết kế để sử dụng trong môi trường sạch loại 1–100; các thành phần cấu tạo của chúng được chọn sao cho giảm thiểu sự tạo ra các hạt bụi. Bạn có thể sử dụng chúng trong hơn 5.000 giờ hoạt động mà tỷ lệ suy giảm công suất chỉ dưới 5%, ngay cả khi hoạt động 24/7.
Tại sao phương pháp này hiệu quả trong thực tế Trong quy trình in ấn, bước sấy khô wafer giúp định hình cấu trúc của lớp phim quang học, còn bước sấy nhiệt giúp cố định cấu trúc đó. Phương pháp sưởi bằng tia hồng ngoại giúp giảm nhanh nhiệt độ, giúp các chất dung môi bay hơi mà không làm tan chảy lớp phim. Tốc độ này cũng giúp quá trình làm sạch diễn ra nhanh hơn; wafer được sấy khô một cách đồng đều, giúp loại bỏ các vết nước trên bề mặt wafer và kiểm soát tốt hơn năng lượng bề mặt. Kết quả là thời gian xử lý rút ngắn, số lần làm lại ít đi, và lượng sản phẩm lỗi giảm. Việc sử dụng năng lượng cũng giảm xuống vì bóng đèn hoạt động ở nhiệt độ thấp hơn so với các bộ gia nhiệt thông thường.
Những điều bạn cần lưu ý khi lắp đặt Việc lắp đặt đòi hỏi phải có sự căn chỉnh chính xác về mặt quang học và cần có bộ phản xạ riêng biệt. Nếu không căn chỉnh đúng cách, sẽ dẫn đến sự không đồng đều về nhiệt độ trên bề mặt wafer. Ngoài ra, bóng đèn cũng cần nguồn điện sạch; những biến động điện áp có thể gây ra sự dao động trong công suất đầu ra. Hãy sử dụng nguồn điện có bộ bảo vệ tốt, và kiểm tra chất lượng thiết bị trước khi sử dụng.