Trong quy trình sản xuất, bạn biết rồi đấy: chỉ cần nhiệt độ nướng sai lệch khoảng nửa độ thôi cũng đủ khiến độ đồng nhất của các kích thước quan trọng bị ảnh hưởng, từ đó làm giảm tỷ lệ sản phẩm tốt. Các ống sưởi bằng tia hồng ngoại tần số trung bình được thiết kế để ngăn chặn sự sai lệch này trước khi nó ảnh hưởng đến kết quả sản xuất.
Điều quan trọng nhất là việc kiểm soát nhiệt độ ngay tại vị trí wafer. Tia hồng ngoại tần số trung bình có thể xuyên qua lớp phim photoresist mà hầu như không gây ra hiện tượng “skin effect”. Ngoài ra, ống sưởi bằng thạch anh còn giúp truyền nhiệt nhanh và hiệu quả, vì nó không tích trữ nhiệt lượng nhiều. Chúng tôi duy trì độ đồng nhất của nhiệt độ trên toàn bộ bề mặt wafer ở mức ±0,1°C; độ lặp lại của nhiệt độ cũng nằm trong khoảng ±0,2°C sau 5.000 giờ hoạt động. Bạn có thể nhận được nhiệt độ ổn định từ 100°C đến 450°C; tốc độ tăng nhiệt độ cũng nhanh, và thiết bị này còn phù hợp với mọi môi trường sạch từ loại 1 đến loại 100, mà không tạo ra bất kỳ hạt bụi nào. Vỏ thạch anh không bị thoát khí, và nó cũng có khả năng chịu được tác động của hóa chất. Kích thước của thiết bị cũng phù hợp với các khung dùng để phủ/làm nóng wafer, giúp tránh phải sửa chữa thêm.
Lý do tại sao thiết bị này vẫn hoạt động tốt trong quá trình sản xuất là vì nó giúp kiểm soát nhiệt độ trong phạm vi cho phép. Các thông số liên quan đến lớp phim photoresist vẫn ổn định từ lần sản xuất này sang lần khác; bạn cũng không cần lo lắng về việc có cặn bẩn hay tạp chất còn sót lại trong wafer. Điều này giúp giảm số lần phải sửa chữa, đồng thời giúp kiểm soát độ chính xác của kích thước wafer một cách hiệu quả. Ngoài ra, thiết bị này còn giúp tiết kiệm năng lượng, vì nhiệt độ được truyền đi theo nhu cầu, chứ không được lưu trữ. Thiết bị có thể hoạt động 24/7 mà không cần ngừng máy. Khi cần thay thế thiết bị, việc thay thế chỉ mất vài phút thôi.
Một lưu ý quan trọng: hãy đảm bảo rằng bước sóng của tia hồng ngoại tương ứng với đường cong hấp thụ của lớp phim photoresist. Hãy kiểm tra xem điện áp, loại đầu nối, và khoảng cách lắp đặt có phù hợp với thiết bị hay không. Đồng thời, hãy kiểm tra hình dạng của bộ phản xạ ánh sáng để đảm bảo nó phù hợp với kích thước wafer. Thời gian cần thiết để thiết bị đạt trạng thái ổn định khá ngắn; hãy thực hiện việc hiệu chuẩn định kỳ theo khuyến nghị để đảm bảo tính chính xác của thiết bị.