Üretim alanında, fotoresistin pişirilmesi sırasında ısı plakasındaki 0,5°C’lik bir sıcaklık değişimi bile, hat genişliğinin kontrolünü bozarak üretimin boşa gitmesine neden olabilir. Bu yüzden sıcaklık ölçümünün belirlenen değerleri takip etmesi gerekiyor; ısıtıcının en sıcak noktalarına göre değil.
Teknik açıdan önemli olanlar:
Yarı iletken ısıtıcılar için termokupllar tasarlıyoruz; böylece wafer seviyesindeki termal homojenlik ±0,1°C içinde kalır ve üretimler arasında tutarlılık sağlanır. Sıcaklık ölçümü, ısıtıcının en sıcak noktasında değil, waferin gerçekten sıcaklığı hissettiği yerde yapılır.
Bu sistemler, 1–100 sınıfı temiz odalarda kullanılabilir; parça üretimini engellemez ve tekrarlayan termal döngülere dayanıklıdır. 24/7 çalışma koşullarında bile çıkış değerleri sabit kalır; bu sayede plansız duruşlar ve tahmin edilebilir bakım aralıkları sağlanır.
Litografide neden işe yarar?
Litografide, pişirme modülü sıkı bir termal kontrolle hem yumuşak hem de sert pişirme işlemlerini gerçekleştirmelidir. Termokupllerimiz, sıcaklık profillerini sabit tutarak CD değişikliklerini azaltır, fotoresist kalitesini iyileştirir ve atık miktarını düşürür. Daha sıkı kontrol aynı zamanda enerji tüketimini azaltır ve aşırı ısınmayı önler. Böylece daha yüksek verimlilik, daha az yeniden işlem gereksinimi ve planlanabilir ekipman kullanım süresi elde edilir.
Doğru şekilde uygulamak için gerekenler:
Montaj toleransları oldukça dar olmalıdır; probun belirlenen derinlikte yerleştirilmesi ve wafer düzlemiyle hizalanması gerekir. Hatalı hizalamalar veya yetersiz termal temas, homojenliği bozar ve sıcaklık değişikliklerine neden olur.
Sistem, çoğu ısıtıcı platformuyla uyumlu çalışır; ancak bazen özel braketler ve konektörler gerekebilir. Lütfen ısıtıcı modelini ve işlem sıcaklık aralığını belirtin; böylece kılıf malzemesi, yalıtım ve kalibrasyon eğrisi sizin termal profilinize uygun hale getirilebilir.