Üretim alanında, yumuşak fırınlama veya wafer kurutma sırasında meydana gelen termal dalgalanmalar sadece bir engel değildir. Bu dalgalanmalar, önemli boyutları değiştirir ve sonuç olarak verim kaybına neden olur. Biz de bu tür dalgalanmaları kökünden ortadan kaldırmak için hızlı tepki veren kızılötesi ısıtıcılar geliştirdik.
Teknik açıdan önemli olanlar:
Kısa dalga boylu kızılötesi halojen elementlerini kuvars kılıflar içinde kullanıyoruz; böylece saniyeler içinde yüksek radyasyon yoğunluğu elde edilir. Aktif bölgede waferin sıcaklık homojenliği ±0,1°C civarında kalır ve termal işlem sonrasında ayarlanan sıcaklık değerinin tekrarlanabilirliği ±0,5°C arasında kalır. Soğuk başlangıçtan istikrarlı duruma kadar çıkış gücü sabit kalır; böylece fotoresist akışını bozan sıcak noktalar oluşmaz. Bu ısıtıcılar, 1–100 sınıfı temiz oda koşulları için tasarlanmıştır; parça üretimini mümkün olduğunca sıfıra yakın tutmak için özel geometriler ve malzemeler kullanılmıştır. 24/7 çalışma koşullarında bile %5’ten az verim kaybıyla 5.000 saatten fazla çalışma süresi beklenir.
Pratikte neden işe yarıyor?
Litografide, yumuşak fırınlama fotoresist profilini belirlerken, sert fırınlama ise bu profilin sabitlenmesini sağlar. Kızılötesi ısıtıcılar sayesinde termal enerji hızla azalır; böylece çözücüler filmin kaynamasına neden olmadan uzaklaştırılır. Aynı hız, temizleme işlemlerinde de faydalıdır; waferler hızlı ve eşit şekilde kurur, bu da su izlerinin azalmasını ve yüzey enerjisinin daha iyi kontrol edilmesini sağlar. Sonuç olarak işlem süreleri kısalar, yeniden işlemler azalır ve atık miktarı düşer. Isıtıcıların daha düşük sıcaklıkta çalışması sayesinde enerji tüketimi de azalır.
Dikkat etmeniz gerekenler:
Montaj sırasında hassas optik hizalamaya ve özel bir yansıtıcı yoluna ihtiyaç vardır; hatalı hizalama, wafer üzerinde eşit olmayan sıcaklık bölgelerine neden olur. Ayrıca ısıtıcılar temiz bir güç kaynağı gerektirir; voltaj dalgalanmaları ve anlık değişiklikler çıkışta dalgalanmalara neden olur. Bu yüzden korumalı bir güç kaynağı kullanın ve cihazın termal özelliklerini doğru şekilde değerlendirin.