Üretim alanında, çizgi genişliğinin kontrolü için gerekli olan termal parametreler, pişirme işlemleri sırasında belirlenir. Yumuşak veya sert pişirme işlemlerinde meydana gelen 2°C’lik bir değişiklik, CD sapmalarına neden olur ve bu da kalite sorunlarına yol açar. Bu tür değişkenlikleri ortadan kaldırmak için karbon nanotüp tabanlı bir ısıtıcı kullanıyoruz.
Teknik açıdan önemli olanlar
Chuck üzerindeki yüzeyin termal olarak ±0,1°C hassasiyetle düzgün olması gerekmektedir; ayar noktasının tekrarlanabilirliği ise ±0,2°C civarındadır. Karbon nanotüp tabanlı ısıtıcı hızlı tepki verir ve stabil kalır. Ayrıca kuvars içermeyen yapısı sayesinde parçacık üretimi en aza indirgenir. Bu ısıtıcı, 1–100 sınıfı temiz odalarda çalışır; bu sayede işlem odasına herhangi bir gaz salınımı olmaz ve direnç malzemelerine zarar verebilecek sıcak noktalar oluşmaz. Ramp kontrolü sayesinde termal profiller, direnç malzemelerinin özelliklerine uygun hale getirilir.
Litografide nasıl işe yarar?
Litografide, yumuşak pişirme işlemindeki sıcaklık stabilitesi, çözücülerin uzaklaştırılmasını ve filmin gerilimini kontrol eder. Sert pişirme işlemindeki stabilite ise yapışma gücünü ve aşındırılma direncini belirler. Bu ısıtıcı sayesinde CD sapmaları azalır, yeniden işleme ihtiyaçları düşer ve çizgiler daha düzgün hale gelir. 24/7 çalışır ve öngörülebilir bakım aralıklarıyla kullanılır; böylece planlanmayan duruş süreleri azalır. Ayrıca, ısıtıcı verimli bir şekilde ısınır ve sıcaklığı korur; bu da enerji tüketimini azaltır.
İhtiyacınız olan detaylar
Isıtıcının özel bir güç kaynağına ve chuck’a sağlam bir şekilde bağlanmasına ihtiyaç vardır. Uyumsuz arayüzler, termal düzenliliği bozar. Belirli direnç malzemeleriniz için rampa hızlarını ayarlamak amacıyla kısa bir test süreci planlayın. Bunu başardığınızda, işlem süreci daha düzenli hale gelir ve termal profil her parti için tekrarlanabilir olur.