Di fasiliti pembuatan cip, perubahan suhu sebanyak 0.5°C pada permukaan panas semasa proses pembakaran bahan fotoresist boleh merosakkan kawalan ketebalan garisan pada cip tersebut, sehingga menyebabkan cip tersebut tidak boleh digunakan. Oleh itu, diperlukan pengukuran suhu yang tepat, iaitu berdasarkan nilai tetapan yang ditetapkan, bukannya berdasarkan titik paling panas pada pemanas tersebut.
Apa yang penting dari segi teknikalnya:
Kami membuat termokopel khusus untuk pemanas semikonduktor, agar suhu di permukaan wafer dapat dikawal dalam lingkungan ±0.1°C. Selain itu, sistem ini juga memastikan kebolehulangan hasil pengeluaran yang konsisten. Titik pengesan suhu terletak di tempat yang sebenarnya bersentuhan dengan wafer, bukan di tempat pemanas mencapai suhu tertinggi.
Sistem ini direka untuk digunakan di bilik bersih kelas 1–100; ia tidak akan menghasilkan zarah-zarah yang boleh merosakkan wafer, dan ia mampu bertahan walaupun melalui siklus suhu yang berulang-ulang. Outputnya tetap stabil walaupun sistem beroperasi 24/7, sekali gus mengurangkan masa henti yang tidak dijangka dan memudahkan pengurusan penyelenggaraan.
Mengapa cara ini berkesan dalam proses litografi:
Dalam proses litografi, modul pembakaran perlu mencapai suhu yang tepat agar kualiti cip dapat dipertahankan. Termokopel yang kami gunakan membantu mengawal suhu dengan tepat, sekaligus mengurangkan variasi ketebalan garisan pada cip, meningkatkan kualiti bahan fotoresist, dan mengurangkan jumlah cip yang rosak.
Kawalan yang lebih baik juga memendekkan masa yang diperlukan untuk proses pengujian, serta mengurangkan penggunaan tenaga. Hasilnya adalah kadar pengeluaran yang lebih tinggi, kurangnya keperluan untuk membaiki cip, dan masa operasi peralatan yang lebih boleh diramalkan.
Apa yang perlu dipastikan agar sistem berfungsi dengan baik:
Toleransi pemasangan harus sangat ketat: probe perlu diletakkan pada kedalaman yang ditetapkan dan sejajar dengan permukaan wafer. Jika terjadi kesalahan penempatan atau kontak termal yang buruk, ia akan merosakkan kawalan suhu dan menyebabkan variasi suhu yang tidak diinginkan.
Sistem ini boleh digunakan dengan kebanyakan platform pemanas, namun untuk pembaikan, biasanya diperlukan bracket dan konektor khas. Sila tentukan model pemanas serta julat suhu yang diperlukan, agar kami dapat memilih bahan pelindung, bahan penebat, dan kurva kalibrasi yang sesuai dengan profil suhu anda.