Di ruang pengeluaran, langkah-langkah pembakaran inilah yang menentukan parameter suhu yang diperlukan untuk mengawal ketebalan garisan pada permukaan wafer. Sebarang perubahan suhu sebanyak 2°C semasa proses pembakaran akan menyebabkan perubahan pada nilai CD, dan ini seterusnya akan menyebabkan masalah pada permukaan wafer. Kami telah mencipta pemanas berbasis karbon nanotube untuk mengurangkan variasi suhu tersebut.
Apa yang penting dari segi teknikalnya:
Pada tahap wafer, kestabilan suhu adalah sekitar ±0.1°C, dengan ulangan nilai suhu yang tepat sekitar ±0.2°C. Element karbon nanotube ini bertindak balas dengan cepat dan kekal stabil. Reka bentuk tanpa menggunakan kuarsa pula membantu mengurangkan penghasilan zarah-zarah yang tidak diinginkan. Pemanas ini boleh digunakan dalam bilik bersih kelas 1–100, tanpa sebarang pelepasan gas ke dalam bilik proses, dan juga tanpa adanya titik panas yang boleh merosakkan permukaan wafer. Kawalan suhu yang efektif memastikan suhu sesuai dengan sifat kimia bahan yang digunakan, bukannya bergantung pada kelajuan pemanasan.
Mengapa ia berkesan dalam proses litografi:
Dalam litografi, kestabilan suhu semasa proses pembakaran membantu menghilangkan pelarut dan mengurangkan tekanan pada lapisan filamen. Kestabilan suhu semasa proses pembakaran yang keras pula membantu meningkatkan daya lekat dan ketahanan lapisan terhadap proses etching. Dengan pemanas ini, variasi nilai CD dapat dikurangkan, sehingga mengurangkan keperluan untuk melakukan proses pembaikan. Pemanas ini boleh beroperasi 24/7 dengan jadual penyelenggaraan yang tetap, sekali gus mengurangkan masa henti operasi yang tidak dijangka. Penggunaan tenaga juga lebih rendah, kerana pemanas ini mampu memanaskan bahan dengan efisien tanpa perlu pengulangan proses pemanasan.
Butiran yang perlu diperhatikan:
Pemanas ini memerlukan sumber kuasa yang berkualiti tinggi serta sistem penyerapan haba yang efektif agar suhu dapat dikawal dengan baik. Jika antaramuka antara pemanas dan komponen lain tidak sesuai, ia akan menyebabkan ketidakkonsistenan suhu. Adakah perlu untuk melakukan ujian percubaan sebelum digunakan, agar kadar pemanasan dapat disesuaikan dengan bahan yang digunakan. Setelah disesuaikan, proses pengeluaran akan menjadi lebih efisien, dan kualiti hasil pengeluaran akan tetap konsisten dari satu batch ke batch yang lain.