적외선 가열 vs. 열공기 가열: 웨이퍼 처리에 낭비되는 시간을 줄이세요 열공기가 어떻게 작동하는지 생각해보세요. 먼저 공기를 가열한 다음, 그 공기가 웨이퍼를 가열합니다. 이는 매우 느린 과정입니다. 기다리는 시간도 길어집니다. 반도체 제조 과정에서는 이러한 지연...

왜 웨이퍼 가공 공정에서 열공기 대신 적외선을 사용하는가? 반도체의 정밀 가공 속도를 높이고 싶다면, 어디서 시간이 낭비되는지 살펴보아야 합니다. 많은 경우, 그 병목 요소는 바로 가열 과정입니다. 구식 장비들은 열공기를 이용해 가열합니다. 이 방식은 매우 느립니다....

공장 내에서 적절한 열을 확보하는 방법 웨이퍼를 가열하여 경화시키는 과정을 해본 적이 있다면, 기판이 비틀리는 문제가 얼마나 골칫거리인지 잘 알 것입니다. 이런 문제는 대개 열 분포가 약간만 잘못되어 발생합니다. 현대의 데이터 중심적인 공장에서는 그냥 열을 높여서 해...

MEMS 웨이퍼를 안전하게 건조시키는 방법 MEMS 센서 웨이퍼를 건조시키는 것은 꽤 위험한 작업입니다. 헹굼액을 빠르게 제거해야 하지만, 주의하지 않으면 물방울이 남거나, 더 심각한 경우에는 기계적 스트레스로 인해 전체 웨이퍼가 망가질 수 있습니다. 그래서 우리는...

스마트 팩토리에서의 적절한 열 제어 산업 4.0을 위한 스마트 팩토리를 구축한다면, 이제는 기존의 열 처리 방식으로는 충분하지 않다는 것을 알고 있을 것입니다. 일반적인 저항식 히터들은 반응 속도가 매우 느리며, 가열하는 데 오랜 시간이 걸리고, 식는 데도 마찬가지로...

웨이퍼 처리를 위한 고정밀 적외선 램프 상상해 보세요: 웨이퍼 생산이 한창인데, 갑자기 램프가 고장 나버립니다. 이는 단순한 중단에 그치지 않고, 전체 생산 공정이 마비될 수도 있습니다. 오염이 곳곳으로 퍼져나가면서 전체 생산 시설이 멈출 위험이 있습니다. 우리는 이...

번인 라인에서 온도 안정성은 선택사항이 아니라 반드시 지켜야 하는 조건이다. 몇 도의 편차만으로도 파라메트릭 수율이 크게 저하되며, 포토레지스트 베이크 불균일성은 리소그래피 예산을 크게 소모시켜 정상 웨이퍼를 폐기물로 만든다. 당사는 웨이퍼 번인 히팅 램프를 교대 근...

리소그래피 라인에서는 베이크 온도가 0.5°C만 변해도 치수 변화가 나노미터 단위로 발생한다는 사실을 빠르게 체감하게 되며, 이로 인해 많은 웨이퍼가 폐기 처리된다. 마이크로 웨이퍼 부품용 단파 적외선 히터는 이 문제를 근본적으로 해결하여 공정 창 내에서 열 특성을...