반제품의 온도를 정확하게 조절하는 방법 웨이퍼를 다룬 경험이 있다면, 웨이퍼가 변형되거나 오염되는 문제가 얼마나 골치 아픈지 잘 알 것입니다. 이 문제는 결국 온도 조절과 관련이 있습니다. 이 문제를 해결하기 위해 우리는 적외선 램프와 금으로 만들어진 반사체를 함께...

제조 현장에서는 소프트 베이크나 웨이퍼 건조 과정 중에 발생하는 열 변동이 단순한 문제가 아닙니다. 이러한 열 변동은 웨이퍼의 치수를 변화시키고, 잔류물을 남기게 되어 최종적으로 생산 효율 저하로 이어집니다. 우리는 이러한 열 변동을 근본적으로 해결하기 위해 빠르게...