别再浪费时间了：为何您的制造流程应选择红外线而非热风加热
如果您仍然依赖热风循环来进行深度加工，那无异于在与时间赛跑，而且几乎注定会失败。
想想热风加热的原理吧——您先加热空气，然后希望这些热空气能够加热晶圆。这个过程极其缓慢且效率低下。此外，还存在明显的延迟现象，这种热传递瓶颈会严重降低生产效率。
而红外线加热则完全不同。它无需经过空气这一中间环节，而是直接用电磁辐射来加热晶圆。这样一来，加热速度极快。
应对热响应问题的挑战
凡是使用过热风系统的人，都知道“热惯性”带来的困扰。您不得不等待漫长的加热和冷却周期。当需要精确控制温度以引发化学反应时，热风显然无法满足要求，因为它反应太慢了。
而使用红外线灯的话，只需几秒钟就能达到目标温度。这无疑改变了整个流程。由于晶圆不必再等待腔体稳定下来，因此生产效率大幅提升。
简化设备布局
最棒的是，您还可以节省一些空间。那些庞大的鼓风机以及复杂的管道系统都可以被淘汰了。红外线装置可以直接安装在晶圆的上方或下方，这样的设计更加简洁高效。
不过，也有需要注意的地方。红外线的发热强度很高。如果冷却系统不够完善，就会导致问题出现。如果散热器无法将多余的熱量带走，那么晶圆的各处温度就会不均匀，从而产生不良影响。
做出选择
如果您的目标是大规模生产，那么红外线加热显然是最佳选择。它能大幅缩短每块晶圆的加工时间。
当然，这意味着您需要放弃简单的烤箱，而采用更为复杂的设备。您还需要花些时间调整PID控制器，以确保温度不会超标。不过，一旦调整妥当，每小时可以处理的晶圆数量将会大大增加，这样的投入绝对是值得的。