
如何让晶圆获得更多热量(同时避免过热?)
如果你曾经从事过生物传感器制造工作,那么你就知道这有多困难了。要使晶圆达到精确的温度,同时又防止整个装置过热,简直就是一场不可能完成的任务。
我们找到了解决办法。关键在于使用红外线灯,并配以镀金反射器。其实很简单:不必浪费能量,而是将所有热量精确地传递到需要加热的地方。
为什么选择黄金作为反射材料呢?
大多数人会首先使用铝制反射器,但它们会吸收太多能量,这非常浪费资源。因此,我们改用薄层黄金作为反射材料,因为黄金本质上可以被视为红外线的“镜子”。这样,热量就不会被反射器吸收,而是直接回到晶圆上。这样一来,就能得到一个集中且稳定的热束。最棒的是,不需要提高功率就能达到目标温度。
保持温度均匀性
在这项工作中,温度的均匀性至关重要。如果某个地方出现“热点”,那整批晶圆都会报废。这真是令人沮丧。
通过调整镀金反射器的形状,我们可以控制能量在表面的分布情况。这样就可以更快地提升温度,从而加快固化或粘合过程。
需要注意的问题
虽然黄金非常适合用于传热,但它也相当娇贵。如果使用研磨剂或强力化学物质,黄金涂层就会受损。如果生产环境中有腐蚀性气体,就需要用石英罩来保护黄金涂层。
另外,由于热量都集中在一点上,所以必须确保灯具和电路能够承受这样的负荷。否则,就可能会出现电路不堪重负的情况。
只要处理好电路问题,就能减少生产时间,同时降低能耗。就这么简单。